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12"全自动步进式光刻机招标公告

来源:中国国际招标网     发布时间:2011.02.17
项目名称:*"全自动步进式光刻机等设备采购
日期:*年*月*日
招标编号:*
*受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于*年*月*日在中国国际招标网公告。 本次招标采用传统招标 方式,现邀请合格投标人参加投标。
*、招标产品的名称、数量及主要技术参数:
第一包:*"全自动步进式光刻机 *台
*.*系统配置:
*.*.* 硅片: * mm(*英寸)* mm(*英寸)
*.*.* 硅片片盒:三个*英寸FOUP标准片盒三个*英寸适配片盒,支持标准*英寸标准cassette
*.*.* 硅片传输:*自由度自动传输机械手,双手臂传送
硅片预对准:定心+定向误差检测精度在*.*mm
*.*.* 掩模:*英寸方形(stepper)或是*/*寸方形(aligner)标识符(α*标准):条形码识别,*个字符
*.*.*掩模版盒:Stepper可以放置*块掩模板
*.*.* 曝光光源:GHI光源,可以自由进行切换到单光线G/I/H
*.*.* 镜头:分辨率优于*um,能实现*um胶厚时*um的线宽要求
*.*.* 对准传感器:对准波长: *~*nm两个CCD传感器,独立快门控
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