1、招标条件
项目概况:本设备须满足2种制程功能：1.通过使用化学药液进行光阻去除及硅片的清洗，以满足产品后续工艺对对各种污染物及颗粒的要求。 2. 通过使用化学药液去除一定量表面氧化层,提高后续工艺成膜的质量,保证器件电学性能的可靠性。
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-164022123375
招标项目名称:上海华虹宏力半导体制造有限公司湿法清洗设备
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 湿法清洗设备 | 1 | 本设备须满足2种制程功能：1.通过使用化学药液进行光阻去除及硅片的清洗，以满足产品后续工艺对对各种污染物及颗粒的要求。 2. 通过使用化学药液去除一定量表面氧化层,提高后续工艺成膜的质量,保证器件电学性能的可靠性。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1) 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2) 投标人或投标货物的制造商须具备向国内半导体制造企业提供槽式全自动清洗设备数量至少15台;
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2016-12-02
招标文件领购结束时间:2016-12-09
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达广场16楼
招标文件售价:￥1000/$165
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2016-12-23 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼
6、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海华虹宏力半导体制造有限公司
地址:上海市浦东新区哈雷288号
联系人:陆艳
联系方式:021-38829909
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达广场16楼
联系人:宋怡、金奇伟
联系方式:86-21-32557501；momoshiro_song@126.com
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):建行上海市分行营业部
招标代理机构开户银行(美元):建行上海市分行营业部
账号(人民币):31001550400055646341
账号(美元):31001550400055646341