彩膜涂布机、干刻机、涂胶显影机招标公告
[购买标书] 2008-03-20 机电产品招标投标电子交易平台日期：2008年03月20日
招标编号：0730-0840GD040102
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2008年03月20日在中国国际招标网公告。现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
0730-0840GD040102/01
招标产品的名称、数量及主要技术参数：彩膜涂布机
五台
1）* 7.3.1 Glass size: 730 x920㎜, 0.5t (0.5~0.7t compatible)
2）* 7.4.1 Tact time ≤ 40sec (Including nozzle cleaning time and glass transfer time, Nozzle Scan Speed: 100mm/sec)
3）* 7.4.2.4 PR Coating uniformity ((Max-min)/(Max+min)*100 ):
≤ 3% (Target thickness: 1.5um, 3.0um) within glass (30points, 3sheets)
≤ 2% (Target thickness: 1.5um, 3.0um) Average data glass to glass (5sheets)
4）* 7.4.2.5 Spinless Coater : No Stain & No Scratch (Macro Inspection)
VCD : No Stain & No Scratch (Macro Inspection)
5）* 7.4.3 Transfer reliability
No error in 1000 sheets transfer test,
No scratch and no damage on glass,
No coating & in-line Operation.
6）* 7.4.4 Static electricity
≤ 200V, Ionizer on(9 point/glass)
7）* 7.5.1.1 System Configuration for Each Process:
BM Machine 1 set : 1 Gantry, 1 Nozzle, 1 PR Supply , 2 VCD
8）* 7.5.1.2 System Configuration for Each Machine:
Spinless coater, Particle Detector, Nozzle cleaning unit, Priming Roller, Robot,
VCD, VCD Vacuum Pump, Resist supply unit, Waste unit
9）* 7.5.2.5 Glass align accuracy: ≤ ±0.5mm
10）* 7.5.2.7 Chuck flatness : ≤ ±10um
11）* 7.5.2.11 Nozzle Scan speed(X-Axis):
Hardware Max Scan Speed : ≥ 300mm/sec
Process Scan Speed : 100~300mm/sec
12）* 7.5.2.21 Nozzle Material : SUS 420 or SUS630 or More Hard Material
13）* 7.5.8.2 PR Pump capacity: ≥50ml
14）* 7.5.8.4 Air vent Point: ≥ 4 point
(including Nozzle, PR Change Sensing Tank by auto-vent,
Filter, Remove Air Unit by auto or manual vent)
0730-0840GD040102/02
招标产品的名称、数量及主要技术参数：干刻机
Total 10chamber , 3 system
Multi 7 chamber , 2 system
PVX 3 chamber , 1 system
Must meet the throughput requirement
Process allocation of each chamber will be discussed later
1）* 5. 交货日期：合同生效后8个月。出口许可证的办理不得影响交货期。
2）* 6. 设备用途及基本要求：
本设备主要用于multi layer(a-Si/ n+a-Si/Mo/PR) etching and Via(SiNx) layer etching. Glass transfer system should be able to use 0.5T and compatible 0.6T or 0.7T glass.
要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。
3）* 7.3.5.1 Etch rate
4）* 7.3.5.2 Within glass uniformity
5）* 7.3.5.5 Selectivity
6）* 7.3.5.6 Profile
7）* 7.3.14.2 Power supply type : Must be use dual cathode coupling type
0730-0840GD040102/03
招标产品的名称、数量及主要技术参数： 涂胶显影机
四台
1）* 5. 交货日期：合同生效后7-8.5个月。出口许可证的办理不得影响交货期。
2）* 7.3.2 Glass size & thickness : 730 X 920mm, 0.5t (0.63t, 0.7t Compatible)
3）* 7.4.1 Tact time : ≤ 60sec
4）* 7.4.4 No mura (cause by m/c)
5）* 7.4.10.3 PR coating uniformity :
Within glass : ≤±3% (1.5㎛ / 2.0㎛/2.5㎛)
Within lot : ≤±1.5% (1.5㎛ / 2.0㎛/2.5㎛)
Lot to lot : ≤±1.0% (1.5㎛ / 2.0㎛/2.5㎛)
Position : over 15mm from glass edge.
6）* 7.5.3.6.2 Broken protect method :
Foreign substance detect function sensor and Bumper
2、招标文件售价：0730-0840GD040102/01彩膜涂布机 为人民币15000 0730-0840GD040102/02干刻机 为人民币15000， 0730-0840GD040102/03 涂胶显影机 为人民币15000
3、购买招标文件时间：即日起至投标截止时间止，每天09:00-16:30，节假日除外
4、购买招标文件地点：北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座20层
5、投标截止时间和开标时间：2008-04-09 09:45:00
6、开标地点：待定。 中标情况将在中国国际招标网公示。
地址：待定
邮编：100101
电子邮箱：dingqian1021@catic-ted.com
电话：84892626-511
传真：84891126
联系人：丁倩
开户银行（人民币）：招行亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐号（人民币）：0783419210001
帐号（美 元）： 00289708094014