1、招标条件
项目概况:等离子体耦合全自动金属刻蚀机，采用等离子体耦合，主要用于体声波（BAW）器件金属以及金属化合物薄膜刻蚀，满足高频、宽带和高功率的体声波器件制作要求。
资金到位或资金来源落实情况:国拨资金,资金来源已落实。
项目已具备招标条件的说明:资金来源已落实。
2、招标内容
招标项目编号:0618-194TC190372G/01
招标项目名称:中国电子科技集团公司第二十六研究所等离子体耦合全自动金属刻蚀机采购项目
项目实施地点:中国重庆市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子体耦合全自动金属刻蚀机 | 1台 | 等离子体耦合全自动金属刻蚀机主要用来刻蚀金属钼、氮化铝以及高钪掺杂的氮化铝薄膜，适用于6英寸片的刻蚀。 最终刻蚀形貌以及片内的均匀性需要满足最终体声波器件性能以及信赖性，设备具备低电极损伤能力，对下电极材料的损伤做到最小，最小线宽0.25微米。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:*1）①如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，接受投标人提供的制造厂商针对本项目的正式的授权书原件，或中国总代理、地区或区域代理出具的授权书等证明投标货物合法来源的证明，不接受代表处、办事处、分公司等不具备独立承担民事责任能力单位的授权。
②投标主要货物非投标人生产的，则投标人必须提供就该次投标获得制造商的维修承诺，证明其投标货物和服务获得货物制造商售后维修服务的保证。提供投标人（制造商）在国内的厂家办事处或分公司及维修服务中心的营业执照副本，并提供联系方式和地址。
*2）其他资格证明文件（复印件加盖公章）：
①营业执照（三证合一后的营业执照副本）（境内投标人）。
②招标技术文件中要求的其它资质文件。
*3）业绩要求：
2015年以来，在半导体行业销售5台（含）以上投标机型或者其同系列机型金属刻蚀机工艺腔室的产品。提供包含但不限于设备采购合同（所供产品须为此次投标产品制造厂商出品）、验收合格证明和用户单位联系人及电话，以上佐证材料均需加盖投标单位公章。
同时便于评标时评标专家进行核对。上述材料中如涉及相关分项报价金额等商业机密的可以做相应遮盖处理；但必须保留采购单位名称、供应商名称、销售产品名称及相关型号等关键证明资料。
*4）开标日期前三个月投标人基本户开户银行开具的接受人为采购人单位的资信证明原件（银行存款证明不能代替资信证明）。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-07-24
招标文件领购结束时间:2019-07-31
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：中招国际招标有限公司306室（北京市海淀区皂君庙14号院9号楼）
招标文件售价:￥1000/$150
其他说明:招标文件领购时间：每天上午9:00-11:30,下午1:30-4:30，节假日除外。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-08-14 09:30
投标文件送达地点:重庆市南岸区花园路14号中国电子科技集团公司第二十六研究所会议室
开标地点:重庆市南岸区花园路14号中国电子科技集团公司第二十六研究所会议室
6、投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:中国电子科技集团公司第二十六研究所
地址:重庆市南岸区花园路14号中国电子科技集团公司第二十六研究所会议室
联系人:吴女士
联系方式:023-65860325
招标代理机构:中招国际招标有限公司
地址:北京市海淀区皂君庙14号院9号楼404
联系人:韩迪、吕诗炜、侯云燕
联系方式:010-62108233、62108112、82467947
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国工商银行北京海淀支行营业部
招标代理机构开户银行(美元):中国银行总行营业部
账号(人民币):0200049619200362296
账号(美元):778350014863
其他:开户名称：China CNTC International Tendering Corporation
外币开户银行名称：Bank of China, Head Office
外币开户银行地址：NO.1 Fuxingmen Nei Dajie,Xicheng District,
Beijing,China
外币(美元)账号(A/C No.)：7783 5001 4863（USD）
外币(欧元)账号(A/C No.)：7783 5014 9733（EUR)
SWIFT CODE: BKCHCNBJ