1、招标条件
项目概况:上海理工大学等离子辅助原子层沉积系统采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:2000-194HGZB19068
招标项目名称:上海理工大学等离子辅助原子层沉积系统采购项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子辅助原子层沉积系统 | 1 | 1.*基片加热温度最高500℃，控温精度±1℃； 2.*工艺模式分为连续工艺模式、曝光模式、等离子模式，满足深宽比400:1 的深槽镀膜要求； 模式间相互切换不需要更换腔室。 3.*采用干泵和分子泵两级真空系统，反应腔体抽取真空速度须在40分钟内达到5E-5 Torr； 4.*工艺载气使用量单脉冲不大于100sccm； 5.*单源脉冲时间可精确控制到0.015s； 6.*配备6路前驱体源，每一路都可以用于固体、液体、气体的前驱源，并可随时切换前驱源。 7.*前驱源钢瓶容量不大于50毫升；每个前驱源钢瓶可以加热到200℃； 8.*配备ICP远程脉冲等离子体源，脉冲开关时间＜1ms；射频电源频率为13.56MHZ，射频功率可达300W。 9.*膜厚均匀性：< 1.5% 1-sigam (以Al2O3 为例，6 英寸硅片)； 10.*有自动控制系统及人机界面，系统的操作界面由计算机完成，试验有关的数据须方便存储、编辑或打印。软件控制所有沉积参数及过程。包含多重安全机制； |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格，能提供上述产品及相应服务的代理商或生产厂家；
1) the bidder registered within the territory of the People's Republic of China or oversea and has independent legal person qualification, can provide the products and corresponding service agents or manufacturers;
2)必须提供所投产品的生产商针对本次招标项目出具的独家授权书；
2) must provide the cast product exclusive authorization letter issued by the producer for the project subject to tender;
3)具有招标文件中所需设备的供货和售后服务的能力；
3) with the supply of equipment required in the tender documents and the ability to after-sales service;
4）本项目预算为350万元人民币，投标报价若高于项目预算的视为废标。
4）The budget of the project is RMB3500000, if the total bid price is higher than the budget,the price will be refused.
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-09-24
招标文件领购结束时间:2019-09-30
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市徐汇区斜土路2364号6楼
招标文件售价:￥500/$72
其他说明:招标文件一经售出，挂不退换。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-10-15 15:00
投标文件送达地点:上海市徐汇区斜土路2364号6楼
开标地点:上海市徐汇区斜土路2364号6楼
6、投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海理工大学
地址:军工路516号
联系人:傅老师
联系方式:86-21- 55271258
招标代理机构:上海沪港建设咨询有限公司
地址:上海市徐汇区斜土路2364号6楼
联系人:杨诗琪、陈怡诺
联系方式:15801971513、17740887667
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):