中工国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2020-07-06在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:电子束蒸发沉积系统
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:1675-204200612053
招标项目名称:北京元芯碳基集成电路研究院电子束蒸发沉积系统
项目实施地点:中国北京市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 电子束蒸发沉积系统 | 1套 | 镀膜腔体要求1)★D型全不锈钢腔体，胶圈密封前开门带观察窗和挡板及内部可更换的玻璃，们的尺寸不小于300X700，两套不锈钢腔体内衬2)★高真空泵抽速1000升/秒的磁悬浮分子泵，配气动插板阀3)★镀膜室极限真空度≤9E-9托，腔体暴露大气后抽至9.9E-7托的时间: ≤30分种，基片通过预真空室装样后，镀膜室恢复原真空度时间：≤10分钟4)★一个8个x 7CC坩埚穴超高真空电子束蒸发源，自动旋转坩埚导位，不低于6KW电源和可编程束斑扫描器5)★成膜均匀性：在4英寸范围内≤+/-2%，（200nm钛膜除去5毫米边缘），适合LIFT OFF镀膜工艺6)★膜厚显示分辨率：≤0.1埃，速率显示分辨率：≤0.01埃/秒7)西门子PLC和工控电脑控制8)★泵、阀门、真空计、电子束蒸发源、膜厚仪、PLC等主要部件需是进口部件，并要求在投标文件中列出品牌 2.进样室1)★独立分子泵，抽速≥230升/秒，真空度≤5E-8托 | ★交货期：合同生效后三个月 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:A、投标人须具有独立法人资格，生产或经营范围应包含拟投设备；
B、投标同型号产品近三年内的使用业绩，并提供证明文件。
C、同一生产厂家只允许授权一家代理商参加投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2020-07-01
招标文件领购结束时间:2020-07-08
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：北京市海淀区上地四街8号楼华成大厦四层
招标文件售价:￥800/$130
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2020-07-23 09:30
投标文件送达地点:北京市海淀区上地四街8号楼华成大厦四层会议室
开标地点:北京市海淀区上地四街8号楼华成大厦四层会议室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:北京元芯碳基集成电路研究院
地址:海淀区杏石口路65号益园创意文化产业园B1碳基集成电路研究院
联系人:杜晓东
联系方式:010-62832672-208
招标代理机构:中工国际招标有限公司
地址:北京市海淀区上地四街8号楼华成大厦四层
联系人:康进、张跃、孙玉玲、王艳霞
联系方式:010-82952950-807
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):北京工商银行股份有限公司北京西三旗支行
招标代理机构开户银行(美元):北京工商银行股份有限公司北京西三旗支行
账号(人民币):0200240109200060854
账号(美元):0200240109200060854
9、其他补充说明
其他补充说明:招标文件的获取
购买招标文件需报名投标人首先在中工国际招标有限公司网站上进行信息填报，填报链接：http://oa.zggjzb.cn/qpoaweb/prg/gys/baoming.aspx?id=4235wnXv，公司信息提交成功后（不代表项目报名成功，也不能作为报名成功的依据）再现场现金购买。投标人需携带以下资料查阅或者购买招标文件（如资料不齐，恕不允许查阅或购买招标文件）：
A、营业执照副本，税务登记证，组织机构代码证或三证合一后的营业执照副本复印件加盖公章；
B、经法定代表人签字、公司盖章的“授权委托书”原件及被授权人身份证复印件加盖公章；
C、代理商证明，产品制造商针对本项目的产品授权书
招标代理机构对报名资料的审验并不作为投标单位资格条件的最终认定，投标单位应对资料的真实性、合规性负责；开标后，仍将由评审委员会对投标单位的资格证明材料进行资格审核，不符合投标资格条件的投标单位的投标将被拒绝。