1、招标条件
项目概况:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司计划为中芯绍兴功率模块生产线项目购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-214522154259/06
招标项目名称:等离子体深硅孔刻蚀机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 次常压化学气相沉积 | 2 | 化学气相沉积 | / |
| 2 | 高真空离子镀膜金属溅射机 | 1 | 高真空离子镀膜金属溅射机 | / |
| 3 | 高密度等离子体化学蒸镀机 | 3 | 高密度等离子体化学蒸镀机 | / |
| 4 | 化学气相沉积设备 | 3 | 化学气相沉积 | / |
| 5 | 化学气相沉积设备 | 2 | 化学气相沉积 | / |
| 6 | 等离子体深硅孔刻蚀机 | 1 | 1.实现硅孔直径0.35um 深度40 um刻蚀 2.实现硅孔角度在89+-0.5度。 3.实现侧壁光滑，无损伤。 | / |
| 7 | 自动光学检测机台 | 1 | 实现0.2um 级别DFI defect scan | / |
| 8 | 晶圆测试探针机 | 20 | wafer自动探针机台、Frame wafer自动探针机台、wafer自动探针机台 | / |
| 9 | 缺陷检测显微镜 | 3 | 实现1um 级别的Defect Review | / |
| 10 | 自动光学检测机台 | 3 | 实现1um 级别的Defect scan | / |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2021-09-01
招标文件领购结束时间:2021-09-08
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
招标文件售价:￥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2021-09-26 10:00
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
联系人:李晓玲
联系方式:0575-88060000-62339
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
联系人:王鼎 应秋祺 潘永亮
联系方式:021-32557721
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):