1、招标条件
项目概况:设备名称：扫描电镜
设备数量：1台
设备用途：扫描电镜需为全新专用设备，主要用于对微结构形貌和材料进行测量表征，对晶圆工艺监控、器件失效分析以及逆向产品开发中属于关键核心设备。扫描电镜可以对光刻胶的截面形貌和几何尺寸进行测量，对体硅结构的表征分析及刻蚀缺陷进行测量，对表面的工艺残留物及不明来源的异物进行形貌观察和成分表征。扫描电镜对关键结构的剖面尺寸及工艺缺陷进行测量和监控，对工艺要求提供准确的监控分析。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF18/03
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 扫描电镜 | 1 | 配备主动式减震台，在20万倍以上放大倍率成像时，图像显示无明显可观察到的震动波纹。其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）、投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
2）、投标人如为代理商，则必须提供该设备制造商出具的授权函原件，或制造商的国内全资子公司授权函原件，或制造商授权的区域代理商的授权函原件；不能提供原件的（如年度授权）提供复印件，原件备查。
3）、投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
4）、投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供承诺书，格式自理）。
5）、单位负责人授权书原件。
6）、2020年至今同类型设备出货量与验收数量不少于200台，国产设备与再制造厂商提供合同和验收材料，进口全新设备出具盖章的业绩说明材料。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-19
招标文件领购结束时间:2024-04-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦8楼西侧（南京长江路198号）
招标文件售价:￥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-05-13 10:00
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
开标地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市东海大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:13906020315
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/周 翠
联系方式:18551719296、025-84531056
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):