8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机评标结果公示公告(1)

2024-05-15   机电产品招标投标电子交易平台
项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机
招标项目编号:0709-244035614012
招标范围:设备名称:多晶硅、硅刻蚀机 设备数量:1台 设备用途:本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中单晶硅浅腔、多晶硅薄膜的刻蚀加工。
招标机构:中国仪器进出口集团有限公司
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间:2024-04-25 09:30
公示开始时间:2024-05-15 15:50
评标公示截止时间:2024-05-16 14:00
中标候选人名单:
候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区
1北京北方华创微电子装备有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中国
2江苏鲁汶仪器股份有限公司江苏鲁汶仪器股份有限公司中国
3合肥英仕博精密装备有限公司合肥英仕博精密装备有限公司中国