中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目中标结果公告(1)
2025-07-14 机电产品招标投标电子交易平台项目编号：0729-254OIT301685
招标范围：低温超深宽比反应离子刻蚀系统 1套
招标机构：东方国际招标有限责任公司
招标人：中国科学院上海技术物理研究所
开标时间：2025-07-08 13:30
公示时间：2025-07-08 16:36 - 2025-07-11 23:59
中标结果公告时间：2025-07-14 12:17
中标人：Rocky？Deco？Co.,Limited
制造商：Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited T/A Oxford Instruments Plasma Technology
制造商国家或地区：英国