1. 项目名称：MEMS微扫描镜加工
2.成交供应商名称：武汉衍熙微器件有限公司
3.成交供应商地址： 武汉市江夏区藏龙岛开发区藏龙大道19号凡谷电子研发中心研发楼（2号楼）
4.成交金额(币种)：11.800万元
5. 付款方式：合同签订后5个工作日内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后10个工作日内支付合同金额的70%
6.主要成交标的：
| 序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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1 |
光罩板5块，调试用wafer及recipe调试 |
合同签署后30天 |
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2 |
正光刻4次，图形转移 |
合同签署后30天 |
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3 |
干法刻蚀Mo\AlScN\SiO2 |
合同签署后30天 |
| 4 | 湿法+高温去除光刻胶 | 合同签署后30天 |
华中科技大学机械科学与工程学院
2025年07月08日