北京怀柔实验室SOC 2025年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告(1)
2025-08-29 机电产品招标投标电子交易平台招标项目编号：1495-254thhrlab02
招标范围：磁控溅射仪作为核心工艺装备，将支撑超顺磁TMR材料的关键功能层制备与膜堆结构调控，需具备单溅射腔多靶位高精度切换能力（≥12个靶位）、优异的膜厚均匀性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉积精度（0.01nm），优于10-8 Torr的极限真空度、稳定的射频与直流溅射源、可控的成分调配系统以及低粒子污染的沉积环境，以实现膜层结构的高一致性与批次重复性，为高精度传感芯片的大规模开发和薄膜工艺优化提供坚实支撑。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2025-08-22 09:30
公示开始时间：2025-08-29 11:02
评标公示截止时间：2025-09-01 17:00
中标候选人名单：无中标人