金属膜及介质膜干法刻蚀系统 项目已具备招标条件。招标项目资金已落实。 中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 （招标人）的委托， 对 该 项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称： 金属膜及介质膜干法刻蚀系统
1.2 招标编号： 0779-25400341A051
1.3项目概况：
本次金属及介质膜干法刻蚀系统设备招标采购旨采满足科研生产需求，其包含全自动综合反应离子刻蚀机 1 台和金属膜干法刻蚀机 1 台，其中全自动综合反应离子刻蚀机包含 SiO 2 工艺腔 和 LN 工艺腔各 1 个 ， 金属膜干法刻蚀机包含金属 工艺腔 1 个、 去胶工艺腔 1 个。 更多指标详见第八章技术规格。
金属及介质膜干法刻蚀系统主要技术指标如下：
1. SiO2 工艺腔：刻蚀速率≥ 200nm/min （ SiO2 ）；选择比≥ 1.5(SiO2 ： PR) ；侧壁倾角≥ 80 °（要求 PR 侧壁倾角≥ 80 °）；片内均匀性≤ 3% ；深宽比≥ 3:1 （ SiO 2 ， 2um 线宽）；
2. LN 工艺腔：刻蚀速率≥ 50nm/min ；选择比≥ 0.5( LN ： PR) ；侧壁倾角≥ 75 °（要求 PR 侧壁倾角≥ 80 °）；片内均匀性≤ 5% ；
3. 金属工艺腔：刻蚀速率 ≥ 400 nm /min （ Al ）；选择比≥ 2( Al ： PR) ；侧壁倾角≥ 80 °；片内均匀性≤ 5% ；
4. 去胶腔：去胶速率 ≥ 50 0nm /min ；片内均匀性≤ 10% ；片间均匀性≤ 3% ；
1.4 数量：1套。
1.5 交货期：合同签订后8个月内到货。
1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。
2.3本项目不接受联合体投标。
2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。
3. 招标文件获取
3.1凡有意参加投标者，请于2025年11月6日至2025年11月14日17时(北京时间)，登录中航工业电子采购平台（http://www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电中航工业电子采购平台服务热线400-890-0880。
3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:https://jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发送至申请时所填邮箱。潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。
3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。
4. 投标文件的递交
4.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为 202 5 年 11 月 27 日 9时00分 （北京时间） ，投标人应在截止时间前通过 中航工业电子采购平台（ http://www.eavic.com） 上传 加密的电子 版 投标文件，并在此时间前递交单独密封的纸质版投标文件 至陕西省西安市高新区锦业一路 19号西安亚丁湾羽安酒店会议室 。
4.2 逾期送达的投标文件，中航工业电子采购平台将予以拒收。
4.3 投标人未按要求上传加密电子版投标文件，或平台软件无法获取、解密投标人上传的电子版投标文件，招标人不予受理。
5. 开标
开标时间同投标文件递交的截止时间，开标 地点 同投标文件递交地点。
6. 发布公告的媒介
本次招标公告同时在中航工业电子采购平台、中国国际招标网、中国招标投标公共服务平台和中招联合招标采购平台上发布。
7 . 联系方式
招标人名称：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
地址：陕西省西安市高新区锦业路 129号
联系人：任经理
电话： 029-61886363
招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司
地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角 88号 大楼
邮编： 100039
联系人：郗女士
电话： 029-89249895
项目负责人：王玮
电话： 029-89249161、029-89248368
传真： 010-88529153
电子邮件： zhaobiaobu@zonkex.com
2025年11月6日