面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目重新招标澄清或变更公告(1)
[购买标书] 2026-02-12 机电产品招标投标电子交易平台项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目
项目名称(英文)：ICB for VOX Vanadium Oxide Thin Film Sputtering and Deposition Equipment Procurement Project for MEMS Heterogeneous Integration Common Process Platform for Intelligent Sensors
招标人：上海新微技术研发中心有限公司
招标机构：上海国际招标有限公司
招标机构代码：0705
招标方式：公开招标
投标报价方式：线下投标
招标结果：重新招标