1、招标条件
项目概况:名称：几何参数测试仪
数量：1台
设备用途：主要用于MEMS制造中几何参数测试，可测试晶圆整体参数和局部平坦度，此次论证设备为电容式测试仪，可高效且不受表面粗糙度影响的几何测试方式，主要应用在SOI系列产品制备过程中关键参数测试。使用几何参数测试仪可以精准高效监控减薄及抛光后的全局和局部参数。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2640SUMECA27/04
招标项目名称:几何参数测试仪
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 几何参数测试仪 | 1 | 几何参数测试仪主要由测试模块（电容传感器）、运动平台、EFEM、Loadport 2个，寻边功能模块、传输模块、等部分组成。其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-02-14
招标文件领购结束时间:2026-02-28
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦9楼西侧（南京市长江路198号）
招标文件售价:￥2000/$225
其他说明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京时间，节假日除外）不购买招标文件的不得参加投标。联系人邮箱：zhoucui@sumec.com.cn。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-03-11 09:30
投标文件送达地点:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层
开标地点:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层
6、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层
联系人:何经理
联系方式:18851776509
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/周 翠
联系方式:18551719296、025-84531056
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):