1、招标条件
项目概况:名称：介质刻蚀机
数量：1台
原理及用途：CCP刻蚀机通过双射频馈入搭配可实现双区温控的静电吸盘，双区气体分配，2管调节气体，使加工出的器件的关键尺寸达到高度均匀性，反应腔内部能实现低污染加工，其作用主要用于先进CMOS工艺且兼具高选择比的刻蚀需求。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2640SUMECA27/05
招标项目名称:介质刻蚀机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 介质刻蚀机 | 1 | 该设备主要由寻边功能模块、上下晶圆模块、机械传输模块、EPD终点检测模块、工艺制程模块、晶圆温度控制器及控制管路等部分组成。其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-02-14
招标文件领购结束时间:2026-02-28
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦9楼西侧（南京市长江路198号）
招标文件售价:￥2000/$225
其他说明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京时间，节假日除外）不购买招标文件的不得参加投标。联系人邮箱：zhoucui@sumec.com.cn。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-03-11 09:30
投标文件送达地点:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层
开标地点:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层
6、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层
联系人:何经理
联系方式:18851776509
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/周 翠
联系方式:18551719296、025-84531056
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):