1、招标条件
项目概况:名称：深硅刻蚀机
数量：1台
原理及用途：
基本原理：把射频能量通过顶部线圈感应产生的磁场耦合到腔体内，交变磁场在真空环境中使气体电离而形成等离子，底部射频产生直流偏压，顶部射频控制离子浓度而底部射频控制离子能量，加速离子到达硅片表面产生物理和化学的刻蚀反应。
用途：本设备主要用于MEMS产品中各种硅槽刻蚀。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2640SUMECA27/06
招标项目名称:深硅刻蚀机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 深硅刻蚀机 | 1 | 对于6/8英寸晶圆片，1.2μmTrench硅刻蚀@负载面积≤5%应满足以下指标 （1）刻蚀深宽比：≥14:1； （2）刻蚀均匀性：≤5%（片内），≤5%（片间），≤5%（批间）。其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-03-19
招标文件领购结束时间:2026-03-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦9楼西侧（南京市长江路198号）
招标文件售价:￥2000/$225
其他说明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京时间，节假日除外）不购买招标文件的不得参加投标。联系人邮箱：zhoucui@sumec.com.cn。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-04-13 09:30
投标文件送达地点:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号
开标地点:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号
6、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号
联系人:何经理
联系方式:18851776509
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号9楼
联系人:江岳峰/朱志云/周 翠
联系方式:18551719296、025-84531056
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):