面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目等离子体金属刻蚀设备采购项目中标结果公告(1)
2026-04-27 机电产品招标投标电子交易平台项目编号：0705-264506024004
招标范围：等离子体金属刻蚀设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海新微技术研发中心有限公司
开标时间：2026-04-21 10:30
公示时间：2026-04-21 13:30 - 2026-04-24 23:59
中标结果公告时间：2026-04-27 08:59
中标人：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商国家或地区：中国