1、招标条件
项目概况:等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔 1台等离子增强型化学气相沉积设备和一个NSO制程腔
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-264010020011/05
招标项目名称:等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔 | 1台等离子增强型化学气相沉积设备和一个NSO制程腔 | 1）在低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器工业中，PECVD(等离子增强型化学气相沉积)工艺用于形成表面覆盖层和非晶硅层(3Layer)、栅绝缘层（GI：Gate Insulator）、层间绝缘层（ILD：Interlayer Dielectric）和钝化层薄膜（Passivation）； 2）基板尺寸：1500mm （W） × 1850 mm（L）；基板厚度：0.4~0.7mm； 3）设备可用于生产表面覆盖层和非晶硅层薄膜，栅绝缘层薄膜，层间绝缘层和钝化层薄膜。 | 0730-264010020011-05 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2020年1月至今必须有同类型设备销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供业绩资料）。（2）一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与买方签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-04-28
招标文件领购结束时间:2026-05-08
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：中航招标网（www.avicbid.com）
招标文件售价:￥3500/$600
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-05-19 09:30
投标文件送达地点:中航招标网（www.avicbid.com）
开标地点:中航招标网（www.avicbid.com）
6、联系方式
招标人:厦门天马微电子有限公司
地址:中国厦门市翔安区翔安西路6999号
联系人:郭玲（含异议受理）
联系方式:027-81696888
招标代理机构:中航招采科技（北京）有限公司
地址:北京朝阳区慧忠路5号远大中心B座20层
联系人:李伟
联系方式:010-84892527
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):