8吋金属刻蚀设备采购项目评标结果公示公告(1)

2026-06-03   机电产品招标投标电子交易平台
项目名称:8吋金属刻蚀设备采购项目
招标项目编号:0722-264YDZB11ZB2/01
招标范围:采购全新8吋金属刻蚀设备1套,用于8吋线干法刻蚀工序,为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的金属刻蚀工艺。(设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,以达到去除特定区域金属膜层,主要用于8吋IC、Power、SiC等领域Al Line、Al Pad、W刻蚀工艺。
招标机构:中国远东国际招标有限公司
招标人:陕西电子芯业时代科技有限公司
开标时间:2026-06-02 09:30
公示开始时间:2026-06-03 17:16
评标公示截止时间:2026-06-08 23:59
中标候选人名单:
候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区
1北京北方华创微电子装备有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中国