招标项目编号:0722-264YDZB11ZB2/04
招标范围:04包:采购全新8吋深硅刻蚀设备1套,用于8吋线干法刻蚀工序,为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的深硅刻蚀工艺。(设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,和硅衬底发生化学和物理作用,以达到去除特定区域硅衬底而形成沟槽的目的)。
招标机构:中国远东国际招标有限公司
招标人:陕西电子芯业时代科技有限公司
开标时间:2026-06-02 09:30
公示开始时间:2026-06-03 17:17
评标公示截止时间:2026-06-08 23:59
中标候选人名单:
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 中国 |