中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统重新招标澄清或变更公告(1)
[购买标书] 2026-06-09 机电产品招标投标电子交易平台项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统
项目名称(英文)：Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition
招标人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
招标机构：上海中招招标有限公司
招标机构代码：0834
招标方式：公开招标
投标报价方式：线下投标
招标结果：重新招标