1、招标条件
项目概况:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标
资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明:本项目的招标条件已具备
2、招标内容
招标项目编号:0705-164015604104
招标项目名称:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | Un-dope Poly Furnace | 1套 | 低压条件下，生成非掺杂多晶硅。 | 2017年4月10日前交货 |
| 2 | Thermal OX Furnace | 1套 | 常压条件下，进行气体反应，生成高温氧化膜 | 2017年4月10日前交货 |
| 3 | LP LTO Furnace | 1套 | 低压条件下，进行气体反应，生成低温氧化膜 | 2017年4月10日前交货 |
| 4 | LP TEOS Furnace | 1套 | 低压条件下，进行气体反应，生成高温氧化膜 | 2017年4月10日前交货 |
| 5 | LP SIN Furnace | 1套 | 低压条件下，进行气体反应，生成氮化硅 | 2017年4月10日前交货 |
| 6 | Low Stress Poly Furnace | 1套 | 低压条件下，生成非掺杂的低应力多晶硅 | 2017年4月10日前交货 |
| 7 | Drive in Furnace | 1套 | 常压条件下，高温推进 | 2017年4月10日前交货 |
| 8 | Anneal Furnace | 1套 | 常压条件下，高温退火 | 2017年4月10日前交货 |
| 9 | Alloy Furnace | 1套 | 低压条件下，低温合金 | 2017年4月10日前交货 |
| 10 | Photoresist Strip | 2套 | 清洁和去除刻蚀后晶圆片表面的光刻胶 | 2017年4月10日前交货 |
| 11 | Photoresist Descum | 1套 | 对晶圆片的光刻胶表面进行处理，去除曝光区局部光阻残留 | 2017年4月10日前交货 |
| 12 | Backside wet etch clean | 1套 | 利用化学品对单片晶圆片进行背面清洗 | 2017年4月10日前交货 |
| 13 | COT and DEV | 1套 | 匀胶、烘烤、显影 | 2017年4月10日前交货 |
| 14 | IL Step Exposure | 1套 | I线曝光，用于线宽大于0.35um的工艺 | 2017年4月10日前交货 |
| 15 | CD-Measurement | 1套 | 对8寸晶圆片的关键尺寸进行测量 | 2017年4月10日前交货 |
| 16 | Single Wafer Scrubber | 1套 | 利用刷头、Jet或AS对单片晶圆片进行清洗，减少颗粒度及粘污 | 2017年4月10日前交货 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2） 投标货物可以是全新设备，也可以是翻新后的二手设备，投标人必须在其投标文件中对每项投标货物明确说明（包括生产年份和序列号）；
3） 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉；
4） 投标人及投标货物的制造商/翻新厂商应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，且在最近的2年内具有不少于10套本招标文件列表内机台的8寸线工艺设备整机的实际直接供货和装机经验，须提供相应装机数据和客户信息给招标人确认（投标人与客户的交易凭证）；
5） 投标人在中国境内应设有售后服务团队，能提供本地化的售后服务；
6） 投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商/翻新厂商出具的针对本项目的独家授权书及售后服务授权书；
7） 本项目不接受联合体投标；
8） 投标人提供的投标货物中自有机台的估价不少于全部投标货物总额的35%，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标单位提出要求后的3天内接受招标单位对机台真实性的现场查验。
9） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2016-12-23
招标文件领购结束时间:2016-12-30
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
招标文件售价:￥1000/$150
其他说明:有兴趣的潜在投标人可从招标机构处得到进一步的信息和查阅招标文件。在查阅和购买招标文件前，潜在投标人须向招标机构提供已签署盖章的《保密承诺》原件一份（签署人非法定代表人的还需提供法定代表人授权书），否则招标机构将拒绝向其提供相关信息和出售招标文件。
有兴趣的投标人可从2016年12月23日起至2016年12月30日止，每天（节假日除外）9:00时至16:00时（北京时间）在中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼购买招标文件，在上述规定的招标文件出售截止期之后将不再出售本项目的招标文件。本招标文件每套售价为人民币壹仟元整（RMB 1,000.00）或壹佰伍拾美元（USD 150.00），售后不退。国内邮购须另加伍拾元人民币（RMB 50.00）；国外邮购须另加伍拾美元（USD 50.00）。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2017-01-13 10:30
投标文件送达地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司会议室
开标地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司会议室
6、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海新微技术研发中心有限公司
地址:上海市嘉定区城北路235号3号楼
联系人:游家杰、周曙华
联系方式:86-21-69923266×8654、2153
招标代理机构:上海国际招标有限公司
地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
联系人:张靖姝、王晋
联系方式:86-21-62791919×198、161
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):招商银行上海分行曹家渡支行
招标代理机构开户银行(美元):PING AN BANK CO., LTD
账号(人民币):215080920510001
账号(美元):11008342781394
其他:Swift Code: SZDBCNBS Beneficiary: Shanghai International Tendering Co Ltd
9、其他补充说明
其他补充说明:电子信箱：zhangjingshu@shabidding.com、wangjin@shabidding.com
附件：保密承诺及法定代表人授权书.docx